詳細(xì)介紹

本設(shè)備是一款小型高真空電阻蒸發(fā)鍍膜儀，主要特點(diǎn)是設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊易于操作，也可整機(jī)放置于手套箱內(nèi)，對(duì)實(shí)驗(yàn)室供電要求低；該系列設(shè)備主要部件采用進(jìn)口或者國(guó)內(nèi)最優(yōu)的配置，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性；另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運(yùn)行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。
該設(shè)備配3組電阻蒸發(fā)源（可兼容金屬與有機(jī)蒸發(fā)），適用于實(shí)驗(yàn)室制備金屬、有機(jī)物蒸發(fā)。廣泛應(yīng)用于高校實(shí)驗(yàn)室和科研院所制備高質(zhì)量功能薄膜、蒸鍍電極等。特別適合OPV/鈣鈦礦/無(wú)機(jī)薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體、有機(jī)EL、OLED顯示研究與開發(fā)領(lǐng)域。
設(shè)備主要配置表

真空腔室	1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接，上開蓋和前開門結(jié)構(gòu)
真空系統(tǒng)	機(jī)械泵+分子泵（國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口可選）， 極限真空優(yōu)于8*10-5Pa（設(shè)備空載抽真空24h），大氣~8*10-4Pa≦30min；采用電阻電離一體化真空規(guī)管讀取真空度；閥門采用電磁驅(qū)動(dòng)擋板閥和手動(dòng)限流閥
蒸發(fā)系統(tǒng)	蒸發(fā)源采用3組水冷銅電極，蒸發(fā)電源采用2KW逆變式電源，配源間防污隔板
基片臺(tái)	可拆卸式，尺寸60*60mm，旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào)，可加熱至300℃，可選水冷或是帶角度調(diào)節(jié)功能的基片臺(tái)
膜厚監(jiān)控儀	可選配進(jìn)口或國(guó)產(chǎn)膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測(cè)和控制蒸發(fā)速率、膜厚
控制系統(tǒng)	PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實(shí)現(xiàn)一鍵抽停真空
設(shè)備尺寸	L60cm×W60cm×H96cm 機(jī)電一體化機(jī)架，預(yù)留1個(gè)CF35法蘭接口

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